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| KDK NEWS 5 |
| Date: 2010 Dec-10 |
Silicon Wafer(12inch) Reclaim
Business 12インチ
シリコン・ウエハの再生 |
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九州電通株式会社では、長年に渡る水晶の研磨・加工の経験と技術を用い、12インチ
シリコン・ウエハの再生ビジネスに参入致しました。高周波水晶の研磨用に開発されたプラズマ装置をシリコン・ウエハ再生用に改良し、新しいウエハ再生プロセスを確立致しました。このプロセスでは、通常の再生時に多用される薬液処理を行わない為に、環境に優しく、しかも再生回数を著しく改善することが可能です。 |
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| KDK SILICON WAFER RECLAIM PROCESS |
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| Before Reclaim:12-Inch Silicon Wafer which has multiple layers on surface. |
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Controlled Plasma removed layer on the surface. |
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| KDK plasma equipment can create several type of plasma to removed a various type of layers. |
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No Damage and No Contaminations |
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KDK エコプロジェックト * ＨＦのような特殊薬液を使用しないので廃液処理を必要とせず、環境への負荷を小さくすることが出来る。 * 均一プラズマによる優れた精密加工面復元力により、シリコンウエハの板厚減少（１μｍ以下）が極めて少なく飛躍的に再生効率が向上する。 * 再生回数が飛躍的に伸びるので、再生ウエハにおける御客様のランニングコストが飛躍的に減少する。 * 加工両が１μｍ以下と少ないので、資源を友好活用することができ、御客様の環境への取り組みに対して貢献できる。 |
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| KDK NEWS: | ||
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LV-PECL/LV-DSタイプ発振器について (Dec-1, 2006) |
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スペクトラム拡散タイプ水晶発振器 (Oct-1, 2005) | |
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低消費電流タイプ水晶発振器 (Oct-1, 2005) | |
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反転メサブランク技術 (Dec-1, 2001) | |
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九州電通株式会社 〒856-0006 長崎県大村市福重町340 TEL:+81-957-55-1313 FAX:+81-957-27-4018 KDK連絡先:営業所 |
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